无锡光刻产品
无锡光刻 / 掩模处理
GM200A 自动掩模盒开盒器
自动开启 SMIF 掩模盒，RSP150 或 RSP200 配置需按需求选定。
配置与供货状态以询价确认为准
订购前请选定掩模盒配置；RSP150 与 RSP200 版本不可互换。
产品资料
参考技术指标。
技术指标为参考信息，实际配置、性能与交期以报价确认为准。
| 外形尺寸 | 535 × 420 × 915 mm |
|---|---|
| 电源 | 220 V |
| 掩模盒兼容配置 | RSP200 或 RSP150；二选一，不可互换 |
| 扭矩检测 | 开闭扭矩异常时自动停止 |
| 可选配置 | 防阻挡 / 防夹；掩模突出检测；SECS/GEM 远程控制 |
参考资料：2025-09。最终技术指标以报价确认为准。 咨询技术问题 ↗
