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知常光电 / 光学检测

MMDI-2000-LA 大口径元件多模态缺陷检测仪

结合全口径快速扫描与子孔径显微成像,对大口径元件缺陷进行多模态检测与评价。

光学检测
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参考技术指标
样品尺寸≤500 × 500 mm
缺陷检测灵敏度≤0.3 µm

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