材料与配件供应SOI 硅片
设备与材料 / 材料

SOI 硅片

根据应用选择器件层、埋氧层、支撑层及晶向。

100 / 125 / 150 / 200 mm
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产品资料

参考技术指标。

以下范围来自 2022 年产品资料,仅作参考。请咨询当前供货状态并确认所需晶圆规格。

参考技术指标
晶圆直径100 / 125 / 150 / 200 mm
支撑层厚度100/125/150 mm:200–1000 µm;200 mm:500–750 µm
总厚度280–1250 µm
埋氧层0.2–5 µm 热氧化层
器件层100/125/150 mm:≥1.5 µm;200 mm:5–300 µm
晶向<100> / <111> / <110>

参考资料:2022 年技术范围;列入 2025 年 9 月产品资料。最终技术指标以报价确认为准。 咨询技术问题 ↗

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