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设备与材料 / 晶圆传输

晶圆机械手与上料机

晶圆自动化传输模组及相关设备支持。

晶圆传输
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参考技术指标。

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参考技术指标
晶圆机械手3 / 4 轴
上料接口6 / 8 / 12 英寸

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