厂家参考资料AMIES 面板级封装步进光刻机
AMIES / AMIES 设备

AMIES 面板级封装步进光刻机

用于面板级先进封装的步进投影曝光。

3 µm L/S
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参考技术指标
曝光视场250 × 250 mm
分辨率3 µm L/S

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