厂家参考资料
产品资料
参考技术指标。
技术指标为参考信息，实际配置、性能与交期以报价确认为准。 厂家参考资料；供货范围与配置以询价确认为准。
| SiC 基片尺寸 | 4 / 6 / 8 英寸 |
|---|---|
| 工艺腔体含氧量 | <10 ppm |
| 晶圆翘曲 | 最大 5 mm |
最终技术指标以报价确认为准。 咨询技术问题 ↗
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| SiC 基片尺寸 | 4 / 6 / 8 英寸 |
|---|---|
| 工艺腔体含氧量 | <10 ppm |
| 晶圆翘曲 | 最大 5 mm |
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