厂家参考资料AMIES SWA / SWB 晶圆对准与键合设备
AMIES / AMIES 设备

AMIES SWA / SWB 晶圆对准与键合设备

提供晶圆对准、预键合及多种材料与工艺的键合配置。

AMIES 设备
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参考技术指标
设备系列SWA 对准 / 预键合;SWB 有机胶、玻璃浆料及共晶键合
基片配置8 / 12 英寸

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