厂家参考资料AMIES 晶圆级封装步进光刻机
AMIES / AMIES 设备

AMIES 晶圆级封装步进光刻机

用于晶圆级先进封装的步进投影曝光。

2–0.8 µm L/S
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分辨率2–0.8 µm L/S
曝光视场配置60 × 60 mm / 53 × 66 mm

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