厂家参考资料
知常光电 / 晶圆检测
NOVA-2000 碳化硅缺陷检测设备
多通道光学检测系统，用于 SiC 抛光衬底片及同质外延片的缺陷检测。
配置与供货状态以询价确认为准
请提供应用及目标技术指标，以便选型。
产品资料
参考技术指标。
技术指标为参考信息，实际配置、性能与交期以报价确认为准。 厂家参考资料；供货范围与配置以询价确认为准。
| 晶圆尺寸 | 4 / 6 / 8 英寸 |
|---|---|
| 基片类型 | SiC 抛光衬底片、SiC 同质外延片 |
| 检测效率 | 10 WPH（6 英寸） |
| 自动化 | 2 个 Load Port |
参考资料：2026-03。最终技术指标以报价确认为准。 咨询技术问题 ↗
