设备供应
产品资料
参考技术指标。
以下参数来自 2025 年 9 月 LP3000 产品资料。以斜杠分隔的数值依次对应各曝光模式，请在报价时确认所需配置。
| 成像区域 | 最大 9 × 9 英寸。 |
|---|---|
| 曝光模式 | 第 1 / 第 2 / 第 3 模式 |
| 地址网格 | 10 / 30 / 50 nm |
| 最小结构 | 0.5 / 0.8 / 1.5 µm |
| 曝光速度 | 27 / 50 / 220 mm²/min |
| 快速模式曝光速度 | 27 / 110 / 440 mm²/min |
| 边缘粗糙度（3σ） | 50 / 70 / 110 nm |
| 线宽均匀性（3σ） | 50 / 80 / 120 nm |
| 对准精度（3σ） | 70 / 100 / 200 nm |
参考资料：2025-09。最终技术指标以报价确认为准。 咨询技术问题 ↗
