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产品资料
参考技术指标。
技术指标为参考信息，实际配置、性能与交期以报价确认为准。
| 曝光方式 | 单面接触式曝光 |
|---|---|
| 曝光面积 | 105 × 105 mm |
| 光强不均匀性 | ≤5% |
| 光照强度 | 0–25 mW/cm²；更高光强可定制 |
| 波长 | 405 / 365 nm；默认 405 nm |
| 分辨率 | 2 µm |
| 套刻精度 | 2 µm |
| 晶圆尺寸 | ≤Ø102 mm |
| 基底厚度 | ≤5 mm |
| 掩模版尺寸 | ≤127 × 127 mm |
| 外形尺寸 | 750 × 700 × 800 mm |
参考资料：2025-09。最终技术指标以报价确认为准。 咨询技术问题 ↗
